天眼查APP显示，近日，广西东方智造科技股份有限公司申请的“一种氧化硅高阻隔膜用真空镀膜设备”专利公布真空镀膜。 摘要显示，本发明涉及氧化硅高阻隔膜真空镀膜技术领域，具体公开了一种氧化硅高阻隔膜用真空镀膜设备，包括基座，所述基座的顶部固定安装有真空镀膜箱，所述真空镀膜箱的顶部固定安装有加热装置，本发明通过疏导机构与定位机构的联动设计，实现了气流调控与动力传导的协同作业，当第一电机驱动转轴旋转时，锥齿环通过啮合传动带动连轴及蜗杆转动，进而驱动蜗轮、轴体及第二丝杆旋转，使滑移块在轨架内上下滑动，滑移块的移动通过齿条与直齿轮的啮合，带动疏导风扇叶在旋转的同时上下摆动，在真空箱内形成动态螺旋气流场，该气流场可有效吹散工件表面滞留的气体分子与杂质，引导镀膜粒子沿优化路径沉积，提升沉积效率与均匀性。